- Interféromètre Davidson
- Jauges linéaires Heidenhain et Ono Sokki
- Hilger – Autocollimateur à deux axes Watts
- Spectrophotomètre Perkin-Elmer Lambda 19
- Sphéromètre Strausbaugh
- Spectrophotomètre à balayage Varian Cary 17-D
- Zygo Corp. Interféromètre à décalage de phase Mark GPI